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SKF23048CCK/W33作為世界上最大的多孔介質(zhì)空氣軸承產(chǎn)品獨立制造商，NewWay空氣軸承公司日前宣布其非接觸式多孔空氣軸承和鏡片修平裝置已經(jīng)獲得美國專利號為7,908,885-B2的授權(quán)。鏡片厚度的變化誤差已成為更高一級光刻解決方案進(jìn)行更清晰展示的限制性因素，因而，這種新方法可以降低工具的要求并提供更高的光刻方案。　　該技術(shù)還可以提供：　　表面加工前即可進(jìn)行粘性清除　　消融中，將工業(yè)廢氣或微粒隔離　　鏡片修平與